2024-12-11 23:02:37
▲图源泛林集团视频Dextro协作机器人是一种位于推车上的可移动机械臂装置，由制造技术人员或工程师进行控制，借助各种“手部工具”能很好地完成三项关键设备维护任务：在安装和压缩易损件时精度是人手的2倍；精确拧紧高精度真空密封螺栓，人类员工用手完成这一重复性任务时错误率高达5%；无需拆卸下腔室即可自动化去除腔室侧壁上的任何聚合物堆积，以往人类需要配备重型呼吸防护设备才能执行此类任务。这意味着Dextro可帮助晶圆厂工程师分担通常耗时、容易出错或危险的维护任务，提升工艺整体精确度，减少劳动力需求、降低浪费、缩短停机，从而最终提高晶圆厂产量。泛林表示单个Dextro协作机器人能为50到100个泛林工具腔室提供服务，目前已可用于旗下FlexG/H系列介电刻蚀工具的支持工作，自2025年开始将扩展至其它工具和应用。三星电子副总裁兼内存蚀刻技术团队负责人KimYoungJu表示：当制造设备需要维护时，必须快速高效地完成工作，以避免延长工具停机时间和浪费成本。Dextro的无差错维护有助于推动生产在可变性和产量上的改进。这是三星迈向自主工厂的一个激动人心的里程碑。广告声明：文内含有的对外跳转链接（包括不限于超链接、二维码、口令等形式），用于传递更多信息，节省甄选时间，结果仅供参考，亚汇网所有文章均包含本声明。
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